Vingerafdruk
Duik in de onderzoeksthema's van 'Cr and CrOx etching using SF6 and O2 plasma'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.- Sorteer per
- Gewicht
- Alfabetische volgorde
Cr and CrOx etching using SF6 and O2 plasma
Vy Thi Hoang Nguyen, Flemming Jensen, Jörg Hübner, Evgeniy Shkondin, Roy Cork, Kechun Ma, Pele Leussink, Wim De Malsche, Henri Jansen
Onderzoeksoutput: Article › peer review
6
Citaten
(Scopus)
102
Downloads
(Pure)